日新高温

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1	CVD(D）系列低温管式炉

2	CVD（G）系列温管式炉

3	RJL系列井式电阻炉

4	RTL系列隧道式推板炉

5	GXL系列高温箱式电阻炉

6	RZL系列钟罩炉

7	RGL系列气氛管式炉

8	RSD系列隧道式网带烧结炉

9	RSH系列隧道式网带烘干炉

10	RXF系列箱式热风循环炉Ⅰ

11	RXF系列箱式热风循环炉Ⅱ

12	MXL系列实验箱式电阻炉
13	RXL系列中温箱式电阻炉
14	RZK系列真空电阻炉
15	RZT系列真空碳管炉
16	RSC系列隧道式淬火炉
17	RSJ系列隧道式静态煅烧炉
18	RKD系列锟道煅烧炉

:::::::::::CVD（G）系列高温管式炉:::::::::::

产品特点:

　　　CVD（G）系列高温管式炉专门设计用于高温CVD工艺,。如氮化硅渡膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容器（MLCC）气氛烧结等等。窑炉采用氧化铝纤维制品隔热、保温，硅钼棒加热，优质刚玉管炉膛, 系统可预抽真空。进口单回路智能温度控制仪控制.双温区管式炉高低温区设计隔板结构，有效的实现温度梯度的控制。设备具有温度均匀、控制稳定、温区间温度扰动小、升温速度快、节能、温度高、寿命长等特点，是理想的科研设备。

相关技术参数（单温区）:

	单位	CVD（G）-04/30/1	CVD（G）-06/30/1	CVD（G）-08/30/1	CVD（G）-09/40/1
加热区尺寸	mm（内径）	ф30×300	ф50×300	ф70×300	ф80×400
恒温区尺寸	mm（内径）	ф30×30	ф50×50	ф70×50	ф80×100
炉管尺寸	mm（内径）	ф30×1000	ф540×1000	ф70×1200	ф80×1200
工作温度	℃	1300～1600℃
温区个数	个	1个温区
控制精度	℃	±1
均匀性	℃	±3
极限真空度	Pa	10（机械泵）
加热元件	硅钼棒
升温速率	℃/min	建议范围：3～5
报警保护	超温、欠温、断偶、等报警保护
装机功率	KW	4KW±10%	6KW±10%	7KW±10%	8KW±10%
供电电源		单相　220V;5KW	单相　220V;5KW	单相　220V;8KW	单相　220V;10KW
外型参考尺寸	W×H×D(mm)	1100×850×650	1100×860×650	1300×1200×700	1300×1250×750
参考重量	(含变压器）Kg	＜150	＜180	＜200	＜250

相关技术参数（双温区）:

	单位	CVD（G）-06/50/2	CVD（G）-08/50/2
加热区尺寸	mm（内径）	ф50×300(高）-200(低)	ф70×300(高）-200(低)
恒温区尺寸	mm（内径）	ф50×50(高）-20(低)	ф70×50(高）-30(低)
炉管尺寸	mm（内径）	ф50×1450	ф70×1450
工作温度	℃	1300～1600℃(高温区)；600～1200℃(低温区)
温区个数	个	2个温区
控制精度	℃	±1
均匀性	℃	±5
极限真空度	Pa	10（机械泵）
加热元件	硅钼棒(高温区)；进口电阻丝(低温区)
升温速率	℃/min	建议范围：3～5
报警保护	超温、欠温、断偶、等报警保护
装机功率	KW	8KW±10%	10KW±10%
供电电源		三相　380V;10KW	三相　380V;12KW
外型参考尺寸	W×H×D(mm)	1500×1250×650	1500×1250×750
参考重量	(含变压器）Kg	＜250	＜320

选　　件:

机械真空泵（电磁阀）。

气氛控制系统（质量流量计、单向阀、，气体管路）

真空测试仪。

备　　注:
外型参考尺寸栏是裸机参考尺寸，设备带真空和气氛参考尺寸未列出．
可按照工艺要求进行再设计,详细资料备索。