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| :::::::::::CVD系列低温真空气氛管式炉::::::::::: |
产品特点:
CVD系列低温真空气氛管式炉专门设计用于低温CVD工艺。如碳纳米管的研制等。
窑炉采用陶瓷纤维制品隔热、保温，电阻丝加热，优质气炼石英管炉膛, 系统可预抽真空。进口单回路智能温度控制仪控制、高低温区设计隔板结构。具有温度均匀、控制稳定、温区间温度扰动小、升温速度快、节能、使用温度高、寿命长等特点，是理想的科研设备。
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备 注:可按照工艺要求进行再设计,详细资料备索
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选 件:
-
机械真空泵
-
进口气氛系统(进口或国产配件） 
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| 相关参数(单温区）: |
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单位 |
CVD（D）-02/20/1 |
CVD（D）-04/30/1 |
CVD（D）-06/30/1 |
加热区尺寸
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mm（内径） |
ф20×200 |
ф40×300 |
ф60×300 |
| 炉管尺寸 |
mm（内径） |
ф20×1000 |
ф40×1000 |
ф60×1000 |
| 炉管材料 |
高纯气炼石英管 |
| 工作温度 |
℃ |
RT～1000℃（最高炉温1050℃） |
| 控制精度 |
℃ |
±1 |
| 控温点数 |
1个；日本原装进口程序控制仪表，系统具有超温、欠温、断偶、等报警保护 |
| 加热元件 |
FEC陶瓷纤维加热器 |
| 真空度 |
Pa（选件） |
6.67×10-1（机械泵） |
| 可通入气体 |
甲烷、乙炔、氢气、氮气、氨气等气体（选件） |
| 升温功率 |
KW |
3 |
6 |
7.5 |
| 重量（参考） |
Kg |
＜80 |
＜150 |
＜180 |
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相关参数(多温区）: |
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单位 |
CVD（D）-04/50/2 |
CVD（D）-06/60/3 |
加热区尺寸
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mm（内径） |
ф40×250/250 |
ф40×200/200/200 |
| 炉管尺寸 |
mm（内径） |
ф40×1200 |
ф40×1300 |
| 炉管材料 |
高纯气炼石英管 |
| 工作温度 |
℃ |
RT～1000℃（最高炉温1050℃） |
| 控制精度 |
℃ |
±1 |
| 控温点数 |
2个；日本原装进口程序控制仪表，系统具有超温、欠温、断偶、等报警保护 |
| 加热元件 |
FEC陶瓷纤维加热器 |
| 真空度 |
Pa（选件） |
6.67×10-1（机械泵） |
| 可通入气体 |
甲烷、乙炔、氢气、氮气、氨气等气体（选件） |
| 升温功率 |
KW |
3 |
6 |
7.5 |
| 重量（参考） |
Kg |
＜80 |
＜150 |
＜180 |
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