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CVD系列石墨烯真空气氛管式炉
品名: CVD系列石墨烯真空气氛管式炉 产地: 安徽 合肥 厂家: 合肥日新高温技术有限公司
1.CVD系列石墨烯真空气氛管式炉采用高纯石英管或刚玉管作为内炉膛。
2.可拆卸式的三面密封方式,具有良好的洁净度和真空度
3.耐火,保温材料全部采用先进的轻质纤维制品,整机质量轻、能耗低
4.加热元件采用U型硅铝(碳)棒或原装进口电阻丝;
5.CVD系列石墨烯真空气氛管式炉温控系统采用进口多段智能程序温度控制仪控制,温度控制具有良好的稳定性、重复性。
设备型号 |
CVD(D)-06/60/3
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CVD(Z)-06/30/1
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CVD(G)-07/50/2
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CVD(G)-09/50/1
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最高温度 |
1050℃
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1300℃
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1650℃/1000℃
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1650℃
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使用温度 |
RT—1000℃
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850-1300℃
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1000-1600℃
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1000-1600℃
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控制精度 |
±1.5℃
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±1.5℃
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±1.5℃
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±1.5℃
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温区个数 |
3个
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1个
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2个
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1个
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加热区长度 |
600mm
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300mm
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500mm(300mm/200mm)
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500mm
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炉管尺寸 |
ф60(外径)×1400(mm)
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ф60(外径)×1000(mm)
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ф70(外径)×1450(mm)
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ф90(外径)×1450(mm)
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炉管材料 |
石英管
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刚玉管
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刚玉管
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刚玉管
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发热元件 |
进口电阻丝
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电阻丝/硅碳棒
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硅钼棒、电阻丝
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硅钼棒
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最大装机功率 |
4.5KW
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3kw/8kw
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10kw
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12kw
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CVD-□□□ 选件功能 |
/□
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/□
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V
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真空系列:单级机械泵+扩散泵机组
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Q
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气氛系统:浮子流量计;进口/国产质量流量计
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备注:以上CVD系列石墨烯真空气氛管式炉设备系统具备冷态极限真空6.67×10-2Pa接口条件;其他特殊工艺要求的订货时请说明。
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CVD系列石墨烯真空气氛管式炉广泛适用于高、中、低温CVD工艺,例如:碳纳米管的研制、晶体硅基板镀膜、纳米氧化锌结构的可控生长等等;
CVD系列石墨烯真空气氛管式炉也可适用于金属材料的扩展焊接以及真空或保护气氛下热处理。
公司总部 |
公司名称 |
合肥日新高温技术有限公司 |
通讯地址 |
安徽省合肥市高新区香樟大道209号 |
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邮政编码 |
230051 |
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销售电话 |
400-100-2284 0551-63860270 |
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传真 |
0551-65560294 |
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先进陶瓷装备专线 |
联系电话 |
0551-63860270 |
传真 |
0551-63860137 |
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邮箱 |
risine4@risine.com |
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碳材料装备专线 |
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0551-65583095 0551-65583720 |
传真 |
0551-65560294 |
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邮箱 |
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售后服务部 |
联系电话 |
400-100-2284 0551-63860270 |
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邮箱 |
risine8@risine.com |