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  • RGL系列双管扩散炉
    品名:RGL系列双管扩散炉
    产地:安徽 合肥
    厂家:合肥日新高温技术有限公司

  • 产品特点

  • RGL系列双管扩散炉(气氛管式炉)采用高纯石英管作为内炉膛,具有良好的洁净度;


    RGL系列双管扩散炉的耐火、保温材料全部采用先进的轻质纤维制品,整机能耗低,升温快


    RGL系列双管扩散炉的加热元件采用真空成型FEC陶瓷纤维加热器


    RGL系列双管扩散炉温控系统采用进口多段智能程序温度控制仪控制,温度控制具有良好的稳定性、重复性。

  • 技术指标

  • 设备型号

    RGL(D)-07/75/3
    RGL(S)-09/60/6
    RGL(D)-18/110/3
    RGL(D)-25/100/6

    最高温度

    1050℃
    1050℃
    1050℃
    1300℃

    使用温度

    RT—1000℃
    RT—1000℃
    RT—1000℃
    RT—1250℃

    控制精度

    ±1.5℃
    ±1.5℃
    ±1.5℃
    ±1.5℃

    温区个数

    3个
    6个
    3个
    6个

    加热区长度

    750mm
    600mm
    1100mm
    1000mm

    炉管尺寸

    ф70(外径)×2200(mm)

    ф90(外径)×1800(mm)

    ф180(外径)×100(mm)

    ф250(外径)×2100(mm)

    炉管材料

    耐热钢管/石英管
    石英管
    石英管
    碳化硅管

    炉管数量

    单管
    双管
    单管
    单管

    发热元件

    进口电阻丝
    进口电阻丝
    进口电阻丝
    硅碳棒

    最大装机功率

    8KW
    15kw
    20kw
    60kw

    RGL-□/□/□

    选件功能

    /□
    /□
    /□
    V
    真空系列:单级机械泵+扩散泵机组
    Q
    气氛系统:浮子流量计;进口/国产质量流量计
    R
    记录打印:有(无)纸记录仪
    备注:RGL系列高温扩散炉(气氛管式炉)其他特殊工艺的订货时请说明。

  • 应用领域

  • RGL系列双管扩散炉(气氛管式炉)主要用于半导体材料的扩散、氧化工艺;

    RGL系列双管扩散炉也应用于玻璃对金属的封装焊接、石英制品的热处理、LED发光体材料的煅烧等工艺

  • 资质荣誉

  • 联系方式

  • 相关产品

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