RGSL系列 管式电阻炉
用途
RGSL系列 管式电阻炉主要应用于半导体材料的扩散、氧化工艺；也可应用于玻璃对金属的封装焊接、石英制品的热处理、LED发光粉体材料的煅烧等工艺。
产品型号命名规则
主要技术参数
| 设备型号 | RGSL(I)-009/090/03 | RGSL(I)-009/090/03 | RGSL(III)-017/500/06 | RGSL(II)-018/160/03 |
| 最高温度 | 1000℃ | 1000℃ | 850℃ | 1100℃ |
| 使用温度 | RT～900℃ | RT～900℃ | RT～800℃ | RT～1050℃ |
| 控温精度 | ±1℃ | ±1℃ | ±1℃ | ±1℃ |
| 有效加热区尺寸 | Φ90mm × 900mm（300+300+300） | Φ90mm × 900mm（300+300+300） | Φ175mm × 5000mm | Φ180mm × 1600mm |
| 温度均匀性 | ±5℃ | ±5℃ | ±5℃ | ±5℃ |
| 炉管材料 | 优质气炼石英管 | |||
| 炉管数量 | 1根 | 1根 | 3根 | 2根 |
| 发热元件 | KTL电阻丝（FEC陶瓷纤维管保温） | |||
| 最大加热功率 | 9kW | 9kW | 120kW（单管40kW） | 约48kW（单管约24kW） |
| 选件功能 |
C | HMI或PLC控制系统 |
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| Q | 气氛保护系统 |
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| R | 记录打印系统 |
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| V | 真空系统 |
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| 备注 | 其他特殊工艺需求的请在订货时说明。 |
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特点
超高洁净度的炉膛
采用高纯石英管作为内炉膛，严防污染材料。
优质的耐火、保温材料
全部采用先进的轻质纤维制品，整机质量轻、能耗低。
稳定高效的温控系统
采用进口最高64段智能程序温度控制仪控制，具有良好的稳定性、重复性。
