RGSL系列管式电阻炉

用途

RGSL系列管式电阻炉主要应用于半导体材料的扩散、氧化工艺；也可应用于玻璃对金属的封装焊接、石英制品的热处理、LED发光粉体材料的煅烧等工艺。

主要技术参数

设备型号	RGSL(I)-009/090/03	RGSL(I)-009/090/03	RGSL(III)-017/500/06	RGSL(II)-018/160/03
最高温度	1000℃	1000℃	850℃	1100℃
使用温度	RT～900℃	RT～900℃	RT～800℃	RT～1050℃
控温精度	±1℃	±1℃	±1℃	±1℃
有效加热区尺寸	Φ90mm × 900mm（300+300+300）	Φ90mm × 900mm（300+300+300）	Φ175mm × 5000mm	Φ180mm × 1600mm
温度均匀性	±5℃	±5℃	±5℃	±5℃
炉管材料	优质气炼石英管
炉管数量	1根	1根	3根	2根
发热元件	KTL电阻丝（FEC陶瓷纤维管保温）
最大加热功率	9kW	9kW	120kW（单管40kW）	约48kW（单管约24kW）
选件功能	C	HMI或PLC控制系统
	Q	气氛保护系统
	R	记录打印系统
	V	真空系统
备注	其他特殊工艺需求的请在订货时说明。

特点

超高洁净度的炉膛

采用高纯石英管作为内炉膛，严防污染材料。

优质的耐火、保温材料

全部采用先进的轻质纤维制品，整机质量轻、能耗低。

稳定高效的温控系统

采用进口最高64段智能程序温度控制仪控制，具有良好的稳定性、重复性。