CVD系列 真空气氛管式炉
用途
CVD系列真空气氛管式炉广泛适用于高、中、低温CVD工艺，例如：碳纳米管的研制、晶体硅基板镀膜、纳米氧化锌结构的可控生长等等；也可适用于金属材料的扩散焊接以及真空或保护气氛下热处理。
参数
| 设备型号 | CVD(D)-06/60/3 | CVD(Z)-06/30/1 | CVD(G)-07/50/2 | CVD(G)-09/50/1 |
| 最高温度 | 1050℃ | 1350℃ | 1650℃/1000℃ | 1650℃ |
| 使用温度 | RT~1000℃ | 850~1300℃ | 1000~1600℃ | 1000~1600℃ |
| 控制精度 | ±1.5℃ | ±1.5℃ | ±1.5℃ | ±1.5℃ |
| 温区个数 | 3个 | 1个 | 2个 | 1个 |
| 加热区长度 | 600mm | 300mm | 500mm(300mm/200mm) | 500mm |
| 炉管尺寸 | Φ60(外径) ×1400(mm) |
Φ60(外径) ×1000(mm) |
Φ70(外径) ×1400(mm) |
Φ90(外径) ×1400(mm) |
| 炉管材料 | 石英管 | 刚玉管 | 刚玉管 | 刚玉管 |
| 发热元件 | 进口电阻丝 | 电阻丝/硅碳棒 | 电阻丝/硅钼棒 | 硅钼棒 |
| 最大装机功率 | 4.5kW | 3kW/8kW | 8kW | 10kW |
| 选件功能 | /V | 真空系统：单极机械泵或机械泵+扩散泵机组 | ||
| /Q | 气氛系统：浮子流量计或质量流量计 | |||
| 备注：以上设备系统具备冷态极限真空6.67×10⁻² Pa接口条件；其他特殊工艺要求请在订货时说明。 | ||||
特点
优质的耐火、保温材料
全部采用先进的轻质纤维制品，整机质量轻、能耗低。
超高洁净度的炉膛
采用高纯石英管或刚玉管作为内炉膛，可拆卸式的三面密封方式，具有良好的洁净度和真空度。
稳定高效的温控系统
采用进口最高64段智能程序温度控制仪控制，具有良好的稳定性、重复性。