RGL系列气氛管式炉

用途

RGL系列气氛管式炉主要应用于半导体材料的扩散、氧化工艺；也可应用于玻璃对金属的封装焊接、石英制品的热处理、LED发光粉体材料的煅烧等工艺。

参数

设备型号	RGL (D)-07/75/3	RGL (S)-09/90/3	RGL (D)-18/110/3	RGL (S)-25/100/6
最高温度	1050°C	1050°C	1050°C	1050°C
使用温度	RT~1000°C	RT~1000°C	RT~1000°C	RT~1000°C
控制精度	±1.5℃	±1.5℃	±1.5℃	±1.5℃
温区个数	3个	3个	3个	6个
加热区长度	750mm	600mm	1100mm	1000mm
炉管尺寸	Φ70(外径) ×2200mm	Φ90(外径) ×1800mm	Φ180(外径) ×2100mm	Φ250(外径) ×2100mm
炉管材料	耐热钢管/石英管	石英管	石英管	炭化硅管
炉管数量	单管	双管	双管	双管
发热元件	进口电阻丝	进口电阻丝	进口电阻丝	硅碳棒
最大装机功率	8kW	15kW	20kW	60kW
选件功能	/V	真空系统：单级机械泵
	/Q	气氛系统：浮子流量计；进口/国产质量流量计
	/R	记录打印：有（无）纸记录仪
备注	其他特殊工艺要求请在订货时说明。

特点

超高洁净度的炉膛

采用高纯石英管作为内炉膛，严防污染材料。

优质的耐火、保温材料

全部采用先进的轻质纤维制品，整机质量轻、能耗低。

稳定高效的温控系统

采用进口最高64段智能程序温度控制仪控制，具有良好的稳定性、重复性。